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氣密封裝電子元器件的密封性檢查—氦質(zhì)譜細(xì)檢漏

文章來(lái)源 : 粵科檢測(cè) 發(fā)表時(shí)間:2023-12-22 瀏覽量:

第三方電子元器件氦質(zhì)譜細(xì)檢漏檢測(cè)機(jī)構(gòu)

氦質(zhì)譜細(xì)檢漏是一種常用于氣密封裝電子元器件的密封性檢查方法,它通過(guò)檢測(cè)元器件封裝中是否存在微小的氣體泄漏,以確保元器件達(dá)到設(shè)計(jì)要求的密封性能。

江蘇粵科檢測(cè)是專業(yè)第三方電子元器件檢測(cè)機(jī)構(gòu),實(shí)驗(yàn)室配備氦質(zhì)譜檢漏儀,可提供電子元器件密封性檢查—氦質(zhì)譜細(xì)檢漏檢測(cè)服務(wù)。


電子元器件氦質(zhì)譜細(xì)檢漏檢測(cè)機(jī)構(gòu).jpg


密封電子元器件的密封性檢測(cè)方法

密封電子元器件的密封性檢測(cè)可對(duì)應(yīng)分為粗檢漏和細(xì)檢漏。細(xì)檢漏方法包括氦質(zhì)譜細(xì)檢漏、放射性同位素Kr85細(xì)檢漏和光干涉細(xì)檢漏等方法。

氦質(zhì)譜檢漏儀細(xì)檢漏靈敏度相對(duì)較高,無(wú)損無(wú)害,檢測(cè)效率較高,是目前應(yīng)用最為普遍的細(xì)漏檢測(cè)方法。

粗檢漏是采用各種溶液的氣泡法(其溶液有硅油、氟化物、酒精、浸潤(rùn)水溶液、水等)、稱重法、染色法等,粗檢漏的試驗(yàn)方法中,碳氟化合物氣泡法粗檢漏,是可以與普通氦質(zhì)譜實(shí)現(xiàn)無(wú)縫銜接的。  


氦質(zhì)譜細(xì)檢漏基本原理

1. 氦氣作為檢測(cè)氣體:

   - 使用氦氣作為檢測(cè)氣體,因?yàn)楹夥肿臃浅P。軌虼┩笜O小的裂縫或孔隙。

2. 質(zhì)譜儀檢測(cè):

   - 將元器件置于真空室內(nèi),注入氦氣,并使用質(zhì)譜儀檢測(cè)室內(nèi)氣體成分。

3. 氣體泄漏檢測(cè):

   - 若元器件存在微小的氣體泄漏,氦氣將通過(guò)泄漏處進(jìn)入真空室,質(zhì)譜儀會(huì)檢測(cè)到氦氣的存在。

4. 分析泄漏量:

   - 通過(guò)質(zhì)譜儀分析氦氣泄漏的程度,確定泄漏的位置和大小。


氦質(zhì)譜細(xì)檢漏步驟

1. 真空室準(zhǔn)備:

   - 將被測(cè)元器件放置在真空室內(nèi),確保真空室達(dá)到適當(dāng)?shù)恼婵斩取?/p>

2. 氦氣注入:

   - 向真空室內(nèi)注入氦氣,使氣氛中充滿氦氣。

3. 檢測(cè)開始:

   - 啟動(dòng)質(zhì)譜儀,開始檢測(cè)氣體成分。在正常情況下,真空室內(nèi)應(yīng)只有氦氣。

4. 泄漏檢測(cè):

   - 若元器件存在氣密性問(wèn)題,氦氣將通過(guò)泄漏處進(jìn)入真空室,質(zhì)譜儀會(huì)檢測(cè)到氦氣的存在。

5. 泄漏分析:

   - 質(zhì)譜儀分析氦氣泄漏的程度,提供泄漏的位置和大小信息。

6. 修復(fù)或報(bào)廢:

   - 根據(jù)檢測(cè)結(jié)果,對(duì)于存在泄漏的元器件,可以進(jìn)行修復(fù)或報(bào)廢,確保產(chǎn)品符合密封性能要求。


氦質(zhì)譜細(xì)檢漏是一種敏感而可靠的氣密性檢測(cè)方法,常用于要求高密封性的電子元器件的制造和質(zhì)量控制過(guò)程中。


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